產品描述

•該潔淨烘箱標配氮流量控制（手動/程序），氧量濃度實時監控等功能，(PPM級氧量濃度採集系統可選），有效預防高溫造成的氧化反應。 
•採用美國原裝品牌超高溫高效過濾器。風阻小，淨化效率高，無硅油。內部潔淨度10～10K級（FS209E)可選 
•德國品牌離心風機使用壽命長，低噪音，高靜壓 
•水平層流的結構特點降低了開關門時外界對乾燥箱內部潔淨度的影響 
• 的風道，降低高效過濾器帶來的風阻影響，減少高效過濾器進風口的高溫積聚 
•溫度變化快；出回几的均勻性保証了潔淨程度的均勻性 
•5寸彩色可編程控制器 
•多重溫度保護，確保設備及被試產品的安全 
•長期穩定工作在250℃/400℃（可選) 
•內膽SS-304不鏽鋼，外殼鋼板靜電消散型中噴塗可選（Rosh認証，兼容無塵間環境) 
潔淨烘箱主要應用：
•半導體的導電膠固化工藝 
•半導體晶圓退火工藝 
•其他工藝應用 
控氧潔淨烘箱是CBI研製的一種高效、穩定、安全的潔淨烘烤箱。