產品描述

1.同時實現真空、潔淨、無氧和高溫組合運行環境潔淨度100級（FED-STD-209E）+高溫≤230°C+真空度50K Par  
2.整體不鏽鋼設計,內膽及層板架採用的均為SUS304不鏽鋼材料 
3.採用進口免維護低噪音風機及高效HEPA 
4.多級軟硬件報警和保護功能 
5.內容積330L或可按要求定製 
6.採用5”觸摸液晶顯示屏，設定及監控簡便 
7.可實現參數及數據的處理、顯示、記錄等功能 
8.PLC控制模塊，手動定製，自動和程序等運行模式 
 真空烘箱產品主要應用：
•砷化鎵半導體器件封裝烘烤工藝 
•微型傳感器的封裝工藝 
•MEMS的封裝工藝研發 
•LED等器件封裝工藝和材料無塵防氧化烘烤